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一種用于飽和石墨舟的夾具

作者:jcshimo 發(fā)布時(shí)間:2021-08-27 13:45:07


一種用于飽和石墨舟的夾具飽和作用:條件是“一種用于飽和石墨舟的夾具內(nèi)壁及硅片表面沉積速率一致”,而決定該速率的主要有溫度、電場(chǎng)、gas以及一種用于飽和石墨舟的夾具內(nèi)壁的表面狀態(tài)這四大條件。

一種用于飽和石墨舟的夾具內(nèi)壁表面狀態(tài)一致的條件:

1.一種用于飽和石墨舟的夾具內(nèi)壁覆蓋一層氮化硅膜:

飽和工藝的作用就是在一種用于飽和石墨舟的夾具內(nèi)壁上沉積一層氮化硅膜,從而使得內(nèi)壁各處均呈氮化硅狀態(tài),這樣會(huì)使一種用于飽和石墨舟的夾具內(nèi)部各處的氮化硅沉積速率趨于一致;

2.一種用于飽和石墨舟的夾具內(nèi)壁平坦度一致:①平坦度不同會(huì)使電場(chǎng)分布不均勻,理論上會(huì)使鍍膜不均勻;②平坦度不同會(huì)引起內(nèi)壁表面積變化,會(huì)引起飽和程度不夠的現(xiàn)象。

飽和充分:①生產(chǎn)成本高;②飽和環(huán)境和實(shí)際鍍膜環(huán)境相同:硅片的存在會(huì)形成更大面積的電場(chǎng),產(chǎn)生更多等離子體,一種用于飽和石墨舟的夾具內(nèi)壁上沉積的氮化硅膜更充分。

飽和不夠充分:①生產(chǎn)成本低;②飽和程度不充分,前期鍍膜均勻性較差,色差片較多。

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